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I metalli di tungsteno hanno un impianto elettrico superiore



Il materiale metallico di tungsteno è il punto di fusione più elevato del metallo naturale (3410 ° c), allo stesso tempo con caratteristiche di elevata resistenza, alta durezza e bassa resistività. Materiali metallici tungsteno resistenti alle alte temperature, resistenza agli urti, resistenza all'usura, stabilità termica, per garantire che il dispositivo ad alta temperatura stabilità del lavoro, è il dispositivo MEMS lavorazione e produzione di materiali strutturali buona scelta, soprattutto per alte temperature e altro ambiente duro o estremo. Metalli di tungsteno I materiali tradizionali di tungsteno usano metodi di deposizione fisica o chimica per formare pellicole sottili, ma lo spessore di film sottili è generalmente non superiore a 2 micron a causa della limitazione e dello stress del processo, che influenza la progettazione e la fabbricazione del dispositivo. Se il materiale metallico di tungsteno viene usato come materiale strutturale invece del tradizionale materiale di silicio monocristallino per realizzare interruttori MEMS, risuonatori MEMS, sonde MEMS, elettrodi micro-EDM e altri dispositivi, i metalli di tungsteno avranno questi dispositivi elettrici, meccanici e caratteristiche di resistenza alla temperatura a causa delle caratteristiche sopra descritte. Il metallo di tungsteno è il materiale principale delle sonde microelettroniche per il test dei chip e, con la riduzione del passo del chip, anche le sonde di metalli tungsteno e le schede delle sonde devono essere miniaturizzate con nuovi metodi di micro-lavorazione, rispetto all'attuale microsonda Silicon (card), materiale metallico del tungsteno formato da micro-sonda (carta) con alta durezza, basso tasso di usura, bassa resistenza, alta affidabilità. A causa dell'alta densità e della durezza dei materiali metallici al tungsteno, la velocità di incisione del processo di incisione ionica reattiva tradizionale è molto bassa, e la perforazione trasversale è anche più grande, Tungsteno Metalli non è possibile ottenere grande profondità e elevato rapporto di allungamento in relativamente poco tempo, che non può soddisfare la domanda di produzione dei dispositivi MEMS. Pertanto, l'applicazione di materiali metallici al tungsteno è principalmente nella tecnologia dei circuiti integrati, attraverso il metodo di deposizione fisica o chimica per preparare uno strato di spessore inferiore a 2 micron, quindi il tradizionale processo di incisione agli ioni reattivi viene utilizzato per fabbricare una parte del dispositivo , come un reticolo metallico, un'interconnessione metallica, un diodo metallico, una combinazione di gas mordenzato o gas utilizzato in CF4, cf4 + 02, Cl2, cl2 + 02, SF6, sf6 + ​​02, NF3, ccl4 + 02, ecc.

Il metodo di incisione utilizzato comprende l'incisione al plasma a pannello piatto (PE), l'incisione al plasma reattivo (RIE), l'incisione al plasma a risonanza ciclotronica (ECR) ecc., Poiché la densità del plasma è relativamente bassa (inferiore a IOICI-IO12CNT3), l'energia è basso, la velocità di incisione prodotta è in genere molto inferiore a 1 micron al minuto. Metalli di tungsteno Allo stato attuale, non vi è alcuna relazione sull'uso di materiali metallici di tungsteno come struttura principale dei dispositivi MEMS, mentre il processo di incisione del materiale di tungsteno a film sottile esistente è generalmente basso, la differenza di anisotropia, diventando il principale collo di bottiglia. Per la lavorazione di materiale metallico di tungsteno, non è stato riportato che il processo di incisione con alta velocità e rapporto di aspetto può essere raggiunto.

Il tungsteno è un metallo refrattario di uso comune, densità 19,35, punto di fusione 3410 ° c, punto di ebollizione 5660 ° c. Il tungsteno ha una durezza elevata, un'alta densità e una buona resistenza alle alte temperature. A temperatura ambiente, il tungsteno è stabile nell'aria, e 400 ℃ iniziano a perdere lucentezza, formando una pellicola protettiva di ossido di tungsteno compatto blu-nero. A 740 ° C, il triossido di tungsteno è stato trasformato da un sistema cristallino tre obliquo a un sistema di cristallo quadrilatero e il film protettivo è stato distrutto. Il tungsteno viene ossidato in biossido di tungsteno con un vapore acqueo superiore a 600 ° C. Il tungsteno non viene facilmente eroso da acido, alcali e acqua regia a temperatura ambiente, metalli di tungsteno ma viene disciolto in acidi misti di acido nitrico concentrato e acido fluoridrico. Il tungsteno può essere rapidamente eroso ossidando i sali fusi come il nitrato di sodio.

Il contenuto medio di tungsteno nella crosta è 1.3x10-6, il contenuto medio di granito è 1.5x10-6. Il tungsteno nel mondo naturale è principalmente un catione di sei valenze, il suo raggio ionico è piccolo, alto prezzo dell'elettricità, con una forte capacità di polarizzazione, facile da formare un anione complesso, metalli tungsteno così tungsteno principalmente nella forma di anioni complessi [wo4] 2 -, e $ letteral, mn2 +, + e altri cationi per formare minerale di tungsteno nero o scheelite. I minerali importanti del tungsteno sono tungstato e solo 20 tipi di minerali di tungsteno e tungsteno si trovano nella crosta, gruppo minerale di tungsteno nero: minerale di tungsteno di manganese, minerale di ferro tungsteno, minerale di tungsteno nero; Gruppo Scheelite: scheelite (minerale di tungsteno di calcio), molibdeno scheelite, rameite scheelite; minerali cinesi di tungsteno: tungsteno hua, acqua tungsteno hua, tungsteno di ferrovia ad alta velocità Hua, tungsteno di ittrio Hua, cu-W, minerale di tungsteno-alluminio; raro tungsteno Minerali: galena di tungsteno, piombo tungsteno obliquo, molibdeno, tungsteno, zinco, tungsteno, bismuto, antimonio, tungsteno, titanio, minerale di torio ittrio (incluso tungsteno), minerale di solfuro di tungsteno. L'unico minerale di tungsteno nero (Fe, Mn) WO4 e scheelite hanno il valore economico del settore minerario.

Filo metallico di tungsteno, barre, fogli, ecc. Utilizzati per realizzare lampadine, componenti elettronici per tubi di tungsteno e elettrodi per saldatura ad arco.